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    精密運動平臺應用案例
    直線電機+DD馬達XYθ平臺應用于液晶制造裝置

     液晶制造裝置

     

     

                行程:690×1, 550mm

                尺寸:1,600×1,660mm

             定位時間:400msec

             最高速度:500mm/sec

             真直度(垂直/水平)

             X軸:±1.2μm、 ±1.13μm 

                Y軸: ±2μm、 ±0.63μm    

                速度穩定性:±0.1%(35mm/sec時)

                采樣周波數:100Hz

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