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    直線電機應用案例

    直線電機XY平臺應用于玻璃基板坐標測定機

    玻璃基板坐標測定機用XY平臺(PDP規格)

    規格

    行程。3,670×2,618mm

    尺寸。5,432×3,365.5×1,804.2mm

    重復定位精度   :±0.26μm

    最高速度。500mm/sec

    真直度(水平・垂直) :27μm

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